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Application note A066-GP99

真空應用

Bronkhorst數(shù)字式MASS-STREAM D6300氣體質量流量計和控制器,適用于0.2到10000ln/min空氣當量的量程范圍。
 

CTA(恒溫風速儀)在線測量原理有效結合直通式管道,實現(xiàn)質量流量測量和控制,壓力等級低于1 bar(a)。

真空應用

應用要求

  • P1 ~300 mbar(a)
  • 可集成斷電保位功能閥門
  • 通過集成泵將氣流吸入儀器
  • 最終下單前通過試驗裝置進行評估

工業(yè)部門

  • 過程
  • 低壓
  • 真空
  • 測試
  • 研究

可選功能

  • 多功能顯示器
  • 附加接口
  • 一臺儀表可儲存高達8條校準曲線
  • 氧氣應用脫脂儀器
真空應用工藝方案