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半導(dǎo)體

半導(dǎo)體元件和器件的制造涉及五大工藝流程:光刻、化學(xué)氣相沉積(CVD)、蝕刻、注入和擴散。Bronkhorst為半導(dǎo)體行業(yè)提供高精度質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、蒸發(fā)器等解決方案助您優(yōu)化每一步。

隨著產(chǎn)品不斷向更小、更強大、更便捷的方向發(fā)展,半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)面臨新的挑戰(zhàn)。超薄層、更小的關(guān)鍵尺寸、新材料、3D結(jié)構(gòu)以及對更高產(chǎn)量和生產(chǎn)率的持續(xù)需求,都推動對更緊密工藝自動化的需求。精確的測量和控制助您實現(xiàn)目標(biāo)。

半導(dǎo)體市場的流量控制

在半導(dǎo)體行業(yè),精度與支持相輔相成。Bronkhorst將精進的流體技術(shù)與全方位服務(wù)專業(yè)知識相結(jié)合,助您實現(xiàn)一致且高質(zhì)量的成果。


應(yīng)用案例

金屬有機化學(xué)氣相沉積(MOCVD)| 流量控制

在用于LED制造的金屬有機化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝中,Bronkhorst金屬密封質(zhì)量流量控制器可實現(xiàn)對載氣的精確控制。Bronkhorst不僅提供流量控制器,還提供從校準(zhǔn)到現(xiàn)場咨詢的全方位服務(wù)支持,竭誠服務(wù)客戶。

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在FOUP卸載模塊應(yīng)用質(zhì)量流量控制器進行氮氣吹掃

前開式晶圓傳送盒(FOUP)| 質(zhì)量流量控制器

在前開式晶圓傳送盒(FOUP)吹掃過程中采用Bronkhorst質(zhì)量流量控制器,制造商可確保清潔度、降低污染風(fēng)險并優(yōu)化運營效率,滿足當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)的高要求。

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超臨界流體的測量與控制

超臨界流體工藝需要超越傳統(tǒng)方法的測量技術(shù)。使用科里奧利質(zhì)量流量計,您可實現(xiàn)穩(wěn)定且精確的流量控制。即使在使用超臨界流體時,物理條件快速變化,也能保持穩(wěn)定。

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為什么半導(dǎo)體市場選擇Bronkhorst?

Bronkhorst專注于優(yōu)化流體控制技術(shù)。我們的儀表具有高精度,這對于化學(xué)氣相沉積(CVD)、平板顯示器(FPD)的噴涂以及原子層沉積(ALD)工藝相當(dāng)重要。此外,Bronkhorst金屬密封流量儀表可助您優(yōu)化直接液體注入系統(tǒng)。

歐洲制造

歐洲工藝,品質(zhì)保證。Bronkhorst流量儀表在歐洲設(shè)計和制造,優(yōu)質(zhì)、可靠、符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。適合半導(dǎo)體工藝的需求。

全球布局,本地服務(wù)

我們在全球設(shè)有辦事處并與合作伙伴攜手,將全球覆蓋與本地專業(yè)知識相結(jié)合。我們能為您提供針對您所在地區(qū)的定制化支持。

經(jīng)驗豐富的應(yīng)用工程師提供支持

我們的工程師經(jīng)驗豐富,在流體測量和控制工藝方面擁有數(shù)十年的經(jīng)驗。他們了解您面臨的挑戰(zhàn),與您密切合作,優(yōu)化您的系統(tǒng),實現(xiàn)精確且可重復(fù)的結(jié)果。