金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）| 流量控制
| 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）是LED制造中的關(guān)鍵工藝，通過在晶圓上沉積超薄晶體層來(lái)制造高性能LED。要實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的均勻性和一致性，需對(duì)氫氣等載氣進(jìn)行精確控制。
Bronkhorst提供優(yōu)質(zhì)的質(zhì)量流量控制器，確保氣體流量穩(wěn)定且精確，實(shí)現(xiàn)優(yōu)化工藝條件和提升產(chǎn)品質(zhì)量。 |
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應(yīng)用要求使用流量控制器供應(yīng)氫氣可改善金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）工藝，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。在此，需要穩(wěn)定的流量條件以及流量控制器對(duì)設(shè)置變化的快速響應(yīng)。 |
重要議題
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工藝方案為了提高M(jìn)OCVD工藝的質(zhì)量，進(jìn)而提升LED的輸出性能，Bronkhorst提供了EL-FLOW金屬密封質(zhì)量流量控制器，以集成到MOCVD設(shè)備中。 這些控制器調(diào)節(jié)氫載氣流量，對(duì)工藝穩(wěn)定性相當(dāng)重要。流量直接影響LED元件的沉積速率，因此須進(jìn)行精確控制。 針對(duì)此應(yīng)用，我們使用了不同量程的EL-FLOW控制器，從20 sccm到20 slm不等。其金屬對(duì)金屬的密封設(shè)計(jì)確保了可靠的再密封性能，而高質(zhì)量的表面處理則滿足了半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。 此外，EL-PRESS金屬密封壓力控制器也是該裝置的一部分。使用這些設(shè)備可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的氫氣流量，對(duì)不斷變化的工藝條件快速響應(yīng)，從而支持性能穩(wěn)定和工藝控制的改進(jìn)。 |
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全方位服務(wù)支持Bronkhorst是一家提供全方位服務(wù)的公司，提供校準(zhǔn)和維修服務(wù)。我們還提供現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，為客戶提供優(yōu)化設(shè)備使用建議，并分享流程改進(jìn)的技巧。 |
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| “Bronkhorst將高品質(zhì)的儀表與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)相結(jié)合，使其在眾多供應(yīng)商中脫穎而出?！?/strong> |
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