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質(zhì)量流量控制器 | 氮?dú)獯祾?| FOUP系統(tǒng)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，準(zhǔn)確且穩(wěn)定的氣體流量控制是保持晶圓質(zhì)量和提高產(chǎn)量的關(guān)鍵因素。通過(guò)在FOUP吹掃過(guò)程中采用Bronkhorst質(zhì)量流量控制器，制造商能更好地確保清潔度、降低污染風(fēng)險(xiǎn)并優(yōu)化運(yùn)營(yíng)效率，滿足當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)要求。
 

半導(dǎo)體制造依賴于相當(dāng)潔凈的環(huán)境來(lái)生產(chǎn)高質(zhì)量的硅晶圓，這些硅晶圓被廣泛應(yīng)用于電信、游戲和工業(yè)電子等領(lǐng)域。在晶圓處理和儲(chǔ)存過(guò)程中，須避免污染，以保持高產(chǎn)量。前開(kāi)式晶圓傳送盒（Front Opening Universal Pods，簡(jiǎn)稱FOUP）用于臨時(shí)儲(chǔ)存晶圓并在工藝步驟之間進(jìn)行傳輸。為了保護(hù)晶圓免受濕氣、顆粒物和氧氣（這些物質(zhì)會(huì)導(dǎo)致氧化并降低導(dǎo)電性）的影響，F(xiàn)OUP會(huì)用超高純度（UHP）氮?dú)饣蚯鍧嵏稍锏目諝膺M(jìn)行吹掃。對(duì)這一吹掃過(guò)程的精確控制對(duì)于保持性能穩(wěn)定和成本效益相當(dāng)重要。
在FOUP卸載模塊應(yīng)用質(zhì)量流量控制器進(jìn)行氮?dú)獯祾? width=

應(yīng)用要求

前開(kāi)式晶圓傳送盒（FOUP）系統(tǒng)，包括上方緩沖器（OHB）和裝載端口，在晶圓處理中發(fā)揮著相當(dāng)重要的作用。

這些步驟中的清潔度直接影響產(chǎn)品良率。吹掃過(guò)程須最大限度地減少污染物，同時(shí)確保氣體流量穩(wěn)定且可重復(fù)。半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商需精確的流量控制解決方案，這些方案需符合緊湊的設(shè)計(jì)，并滿足嚴(yán)格的清潔度標(biāo)準(zhǔn)。

重要議題

  • 成本優(yōu)化
  • 緊湊設(shè)計(jì)，減少占用空間
  • 受控且可追溯的制造流程
  • 準(zhǔn)確性和可重復(fù)性確保吹掃性能的一致性

工藝方案

Bronkhorst質(zhì)量流量控制器用于監(jiān)測(cè)和控制前開(kāi)式晶圓傳送盒（FOUP）系統(tǒng)中超高純氮?dú)饣蚯鍧嵏稍锟諝獾拇祾吡髁?。較舊的晶圓廠通常使用清潔干燥空氣，而較新的晶圓廠則更傾向于使用超高純氮?dú)庖栽鰪?qiáng)潔凈度。這些控制器能確保精確且穩(wěn)定的流量，這對(duì)于保持晶圓的完整性和防止氧化相當(dāng)重要。通過(guò)集成這些設(shè)備，半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商可以實(shí)現(xiàn)可靠的吹掃性能，優(yōu)化氣體消耗，并保持現(xiàn)代晶圓制造所需的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)。
“Bronkhorst為我們提供了前開(kāi)式晶圓傳送盒（FOUP）可靠吹掃所需的精確度?！?/strong>
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