氣體熱式質(zhì)量流量傳感器 |
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 圖1：質(zhì)量流量傳感器（旁路）工作原理 |
什么是層流元件？層流元件（設(shè)備主流道中的流動(dòng)組件）允許一定比例的流體與主流道平行地流過(guò)旁路（或傳感器通道）。 層流元件（或分流器）由一疊具有高精度蝕刻流道的不銹鋼片組成，具有與流量傳感器相似的特性。為了獲得更大的流量，疊片配備額外組件來(lái)過(guò)濾湍流效應(yīng)。即使在不同的工藝條件下，使用該元件也能確保穩(wěn)定可靠的流量配比。 |
氣體質(zhì)量流量傳感器 – 旁路原理流量傳感器的氣體由兩個(gè)加熱器（圖1中的RHT1和RHT2）加熱。管子的溫度在相同的兩個(gè)點(diǎn)測(cè)量，加熱器同時(shí)也是傳感器。在沒(méi)有流量的情況下，旁路上兩點(diǎn)之間的溫差將為零。當(dāng)流量增加時(shí)，隨著流體帶走熱量，第一個(gè)測(cè)量點(diǎn)（RHT1）的溫度會(huì)下降。同時(shí)，第二個(gè)測(cè)量點(diǎn)（RHT2）的溫度變高，因?yàn)榱黧w為其帶來(lái)熱量。流量越大導(dǎo)致的溫差越大，與質(zhì)量流量成正比。 |
 圖2：通過(guò)質(zhì)量流量傳感器的溫度 |
帶“旁路”氣體質(zhì)量流量傳感器的Bronkhorst設(shè)備對(duì)旁通裝置來(lái)說(shuō)，清潔、干燥的氣體應(yīng)用是很好的應(yīng)用，此類應(yīng)用中較高的精度和重復(fù)性很重要，流量的一部分通過(guò)流量組件，例如EL-FLOW Select、EL-FLOW Prestige、IN-FLOW?和?EX-FLOW?裝置。EX-FLOW設(shè)備適用于危險(xiǎn)（ATEX）區(qū)域的氣體流量應(yīng)用。 作為上述旁通原理的一種變體，Bronkhorst為低壓降應(yīng)用設(shè)計(jì)了一種特殊配置-Low-dP-FLOW系列。傳感器僅需約0.25到2.5 mbar。較大的流道降低堵塞風(fēng)險(xiǎn)，便于清潔和吹掃。該配置適用腐蝕性氣體。 |